製品番號
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製品名稱/內容
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用途
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寸法、形狀
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下載
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4640
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氟橡膠O-ring
白色,茶色..等彩色 O-ring
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使用在需耐熱, 耐化學藥劑, 耐油的機器設備。
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
・ISO/R 1799
・NAS 1593、1594、1595、1596
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H4640
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耐熱氟橡膠o-ring
黑色
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耐熱氟橡膠與目前汎用的氟橡膠密封產品相比較, 在壓縮變形率方面有非常好的表現, 因可延長密封性能的life time, 便可減少維修的次數。
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
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AC4640
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Armor Crystal O-ring
透明<不會產生particle>
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因為沒有添加任何filler是潔淨度相當高的產品。且對於金屬也不具黏著性,抗plasma,被廣泛使用在半導體, 面板業的dry etching, Ashing, CVD等機台上。
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
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F4640
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Flid O-ring
黑色
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機械性能佳,主要使用在半導體・面板相關設備機台的真空 gate部。
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
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FA4640
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Flid Armor O-ring
黑色,低摩擦
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機械性能佳, 不黏著在金屬上的特性, 主要使用在半導體・面板相關機台的真空 gate部。
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
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SA4640
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Spoq Armor O-ring
白色
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具備純淨度・抗Plasma・以及不黏著在石英的特性,使用在半導體・面板的dry etching・ashing, CVD等設備機台上。
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
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HA4640
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HyrecArmor O-ring
透明琥珀
抗Plasma
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具備高純淨度・抗Plasma・耐高溫・以及不黏著在金屬上的特性, 使用在半導體・面板的dry etching・ashing,CVD等設備機台上。
(固定部專用)
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
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UA4640
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Ultic Armor O-ring
透明琥珀
抗Plasma
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具備高純淨度・抗Plasma・耐高溫・以及不黏著在金屬上的特性,使用在半導體・面板的dry etching・ashing, CVD等設備機台上 。
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
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UAF4640
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Ultic Armor F的O-ring
深靛色
耐Plasma等級
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具備高純淨度, 抗Plasma, 耐高溫, 以及不黏著在金屬上的特性。
泛用於半導體, 面板相關的乾蝕刻, Ashing, CVD等設備。
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
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LA4640
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Labe Armor的O-ring
藍色
耐O2 Plasma等級
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具備抗O2 Plamsa以及不黏著石英的特性, 泛用於半導體, 面板的Ashing設備。
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
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VPTR4640
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Fluoritz TR O-ring
濃褐色
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具備純淨, 高抗Radical, 低變形, 耐溫等特性, 適用於半導體, 面板的蝕刻, Ashing設備, 以及Radical較嚴苛的CVD設備。
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<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
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UB4060
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Bonded、Seal Plate
係指Ultic Armor貼付在金屬板上一體成型的Seal Plate
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安裝O-ring的Slit Valve上常見的斷裂, 黏著, 鬆脫等異常, 皆可有效解決。
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