半導體‧液晶用

產品敘述

製品番號	製品名稱/內容	用途	寸法、形狀	下載
4640	氟橡膠O-ring 白色,茶色..等彩色 O-ring	使用在需耐熱, 耐化學藥劑, 耐油的機器設備。	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568 ・ISO/R 1799 ・NAS　1593、1594、1595、1596
H4640	耐熱氟橡膠o-ring 黑色	耐熱氟橡膠與目前汎用的氟橡膠密封產品相比較, 在壓縮變形率方面有非常好的表現, 因可延長密封性能的life time, 便可減少維修的次數。	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568
AC4640	Armor Crystal O-ring 透明＜不會產生particle＞	因為沒有添加任何filler是潔淨度相當高的產品。且對於金屬也不具黏著性,抗plasma，被廣泛使用在半導體, 面板業的dry etching, Ashing, CVD等機台上。	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568
F4640	Flid O-ring 黑色	機械性能佳,主要使用在半導體・面板相關設備機台的真空 gate部。	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568
FA4640	Flid Armor O-ring 黑色,低摩擦	機械性能佳, 不黏著在金屬上的特性, 主要使用在半導體・面板相關機台的真空 gate部。	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568
SA4640	Spoq Armor O-ring 白色	具備純淨度・抗Plasma・以及不黏著在石英的特性,使用在半導體・面板的dry etching・ashing, CVD等設備機台上。	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568
HA4640	HyrecArmor O-ring 透明琥珀抗Plasma	具備高純淨度・抗Plasma・耐高溫・以及不黏著在金屬上的特性, 使用在半導體・面板的dry etching・ashing,CVD等設備機台上。 (固定部專用)	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568
UA4640	Ultic Armor O-ring 透明琥珀抗Plasma	具備高純淨度・抗Plasma・耐高溫・以及不黏著在金屬上的特性,使用在半導體・面板的dry etching・ashing, CVD等設備機台上。	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568
UAF4640	Ultic Armor F的O-ring 深靛色耐Plasma等級	具備高純淨度, 抗Plasma, 耐高溫, 以及不黏著在金屬上的特性。泛用於半導體, 面板相關的乾蝕刻, Ashing, CVD等設備。	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568
LA4640	Labe Armor的O-ring 藍色耐O2 Plasma等級	具備抗O2 Plamsa以及不黏著石英的特性, 泛用於半導體, 面板的Ashing設備。	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568
VPTR4640	Fluoritz TR O-ring 濃褐色	具備純淨, 高抗Radical, 低變形, 耐溫等特性, 適用於半導體, 面板的蝕刻, Ashing設備, 以及Radical較嚴苛的CVD設備。	<尺寸規格> ・JIS　B　2401 ・AS　568
UB4060	Bonded、Seal Plate 係指Ultic Armor貼付在金屬板上一體成型的Seal Plate	安裝O-ring的Slit Valve上常見的斷裂, 黏著, 鬆脫等異常, 皆可有效解決。

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