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半導體‧液晶用  
製品番號 製品名稱/內容 用途 寸法、形狀 下載
4640 氟橡膠O-ring
白色,茶色..等彩色 O-ring
使用在需耐熱, 耐化學藥劑, 耐油的機器設備。

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568
・ISO/R 1799
・NAS 1593、1594、1595、1596

 
H4640

耐熱氟橡膠o-ring
黑色

耐熱氟橡膠與目前汎用的氟橡膠密封產品相比較, 在壓縮變形率方面有非常好的表現, 因可延長密封性能的life time,  便可減少維修的次數。

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568

 
AC4640

Armor Crystal O-ring
透明<不會產生particle>

因為沒有添加任何filler是潔淨度相當高的產品。且對於金屬也不具黏著性, 抗plasma,被廣泛使用在半導體, 面板業的dry etching, Ashing, CVD等機台上。

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568

F4640

Flid O-ring
黑色

機械性能佳,主要使用在半導體・面板相關設備機台的真空 gate部。

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568

 
FA4640

Flid Armor O-ring
黑色 , 低摩擦
   

機械性能佳, 不黏著在金屬上的特性, 主要使用在半導體・面板相關機台的真空 gate部。

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568

SA4640

Spoq Armor O-ring
白色

具備純淨度・抗Plasma・以及不黏著在石英的特性,  使用在半導體・面板的dry etching・ashing, CVD等設備機台上。

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568

HA4640

HyrecArmor O-ring
透明琥珀
抗Plasma

具備高純淨度・抗Plasma・耐高溫・以及不黏著在金屬上的特性, 使用在半導體・面板的dry etching・ashing, CVD等設備機台上。
(固定部專用)

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568

UA4640

Ultic Armor O-ring
透明琥珀

抗Plasma

具備高純淨度・抗Plasma・耐高溫・以及不黏著在金屬上的特性, 使用在半導體・面板的dry etching・ashing,  CVD等設備機台上 。

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568

UAF4640 Ultic Armor F的O-ring
深靛色
耐Plasma等級
具備高純淨度, 抗Plasma, 耐高溫, 以及不黏著在金屬上的特性。
泛用於半導體, 面板相關的乾蝕刻, Ashing, CVD等設備。

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568

LA4640 Labe Armor的O-ring
藍色
耐O2 Plasma等級
具備抗O2 Plamsa以及不黏著石英的特性, 泛用於半導體, 面板的Ashing設備。

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568

 
VPTR4640 Fluoritz TR O-ring
濃褐色
具備純淨, 高抗Radical, 低變形, 耐溫等特性, 適用於半導體, 面板的蝕刻, Ashing設備, 以及Radical較嚴苛的CVD設備。

<尺寸規格>
・JIS B 2401
・AS 568

UB4060 Bonded、Seal Plate
係指Ultic Armor貼付在金屬板上一體成型的Seal Plate
安裝O-ring的Slit Valve上常見的斷裂, 黏著, 鬆脫等異常, 皆可有效解決。