HOME > 製品案内 > Oリング ボンデッド シール
プレート
> 半導体‧液晶用
半導体‧液晶用  
製品番号 製品名称/内容 用途 寸法、形状 詳細
4640

ふっ素樹脂ゴムOリング

ふっ素ゴムを断面O形のリング状に成形したものです。白色 茶色などのカラーOリングもあります

耐熱・耐薬品・耐油性などを必要とする機器のシールとして使用します

<規格寸法>
・JIS B 2401
・AS 568
・ISO/R 1799
・NAS 1593 1594 1595 1596

 
H4640

耐熱ふっ素ゴムOリング

耐熱ふっ素ゴム を断面O形のリング状に成形したものです(黒)

耐熱ふっ素ゴムは これまでの汎用ふっ素ゴムシール製品と比較し 圧縮永久歪特性を大幅に向上させ シール寿命の延長によりメンテナンスサイクルの低減が期待できる製品です

<規格寸法>
・JIS B 2401
・AS 568 

 
AC4640

アーマークリスタルOリング

アーマークリスタルを断面O形のリング状に成形したものです。(透明)

パーティクル対策グレード

配合剤を使用してないために非常に純粋性に優れていますまた金属に対しての非粘着性 耐プラス性に優れており 半導体・液晶関連機器などのドライエッチング・アッシング装置内 CDV装置内に使用します

<規格寸法>
・JIS B 2401
・AS 568  

F4640

フリッドOリング

フリッドを断面O形のリング状に成形したものです(黒)

標準普及グレード

機械的に特性に優れ 導体・液晶関連機器などの真空ゲート部のシール 搬送用ベルトとして使用します

<規格寸法>
 

・JIS B 2401
・AS 568  

 
FA4640

フリッドアーマーOリング

フリッドアーマーを断面O形のリング状に成形したものです(黒)

特殊低摩擦グレード

機械的特性、金属に対しての非粘着性に優れています。主に半導体・液晶関連機器の真空ゲート部のシールとして使用します

<規格寸法>
・JIS B 2401
・AS 568  

SA4640

スポックアーマーOリング

スポックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです(白)

耐プラズマグレード

純粋性 耐プラズマ性 石英に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内 CVD装置内に使用します

<規格寸法>
・JIS B 2401
・AS 568  

HA4640

ハイレックアーマーOリング
ハイレックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。     (琥珀透明)

 耐プラズマグレード

純粋性 耐プラズマ性 耐熱性 金属に対しての非粘着性に優れています。(固定部専用)半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内 CVD装置内に使用します

<規格寸法>
・JIS B 2401
・AS 568  

UA4640

アルティックアーマーOリング

アルティックアーマーを断面O形のリング状に成形したものです。    (琥珀透明)

耐プラズマグレード

純粋性 耐プラズマ性 耐熱性 金属に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内 CVD装置内に使用します

<規格寸法>
・JIS B 2401
・AS 568  

LA4640

レイブアーマーOリング

レイブアーマーを断面O形のリング状に成形したものです(青)

耐酸素プラズマ専用グレード

耐酸素プラズマ性 石英に対しての非粘着性に優れています

半導体・液晶関連機器のアッシング装置内に使用します

<規格寸法>
・JIS B 2401
・AS 568  

 
UAF4640

アルティックアーマーFOリング

アルティックアーマーFを断面O型のリング状に成型したものです。  (こげ茶)

耐プラズマグレード

純粋性 耐プラズマ性 耐熱性、金属に対しての非粘着性に優れています。半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内 CVD装置内に使用します

<規格寸法>
・JIS B 2401
・AS 568

VPTR4640

フローリッツTR

パーフロロエラストマーであるフローリッツTRを断面O形のリングに成形したものです(濃褐色)高い耐ラジカル性を有しつつ 純粋性 低歪性、耐熱性にも優れています

半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内 CVD装置内の高い耐ラジカル性が要求される箇所に使用します

<規格寸法>
・JIS B 2401
・AS 568

UB4060

ボンデッド シールプレート

金属にアルティックアーマーを付けて一体成形したゲートシールプレートです

半導体製造装置に使われるオーリング装着タイプのゲートバルブで、オーリングのねじれ  切断  固着  脱落などの問題を解決するために使います